平台人员分工及联系方式
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先进微纳加工中心 · 人员分工
华中科技大学先进微纳加工中心（微纳平台）现有专职技术与管理团队 21 人，覆盖管理行政、光刻刻蚀、薄膜湿法、测试表征与动力保障五个方向。工艺咨询与设备预约也可通过平台网站在线办理。
提示「工作地点」为中心洁净间及工艺区的房间编号：
D101~D116（D 区）、
E304~E307（E 区）。
01
6 人
管理与行政
Administration
统筹中心日常运行管理、对外合作与综合事务。
02
5 人
光刻与刻蚀
Lithography & Etch
承担光刻、刻蚀等图形化工艺的技术支持与设备运行，涵盖紫外光刻、电子束光刻（EBL）、ICP 刻蚀、磁控溅射与离子束等方向。
03
4 人
薄膜、湿法与后道
Thin Film & Back-end
负责薄膜沉积、湿法清洗与后道封装工艺，涵盖 PVD / CVD / ALD 薄膜、电子束蒸发、抛光、电镀、划片与封装等环节。
04
4 人
测试与表征
Metrology & Test
承担中心测试与表征任务，包括电镜等大型仪器的测试服务与数据分析。
05
2 人
动力与保障
Facility & Support
负责洁净间动力系统、液氮等生产保障，保障工艺线连续稳定运行。
