封装工艺
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封装工艺

平台具备如下封装工艺能力:

晶圆键合:直接键合、热压键合、共晶键合、金属扩散键合、混合键合、离子键合等

引线键合:金丝球焊(热压焊与热压超声焊)

芯片贴装(DA

EHD喷墨打印、晶圆划片道直写填充

电镀:TSV-Cu TSV-Au

晶圆划片、CMP抛光、晶圆减薄



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