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中文名：AJA Orion8多靶磁控溅射镀膜系统 |
英文名：AJA Orion8 Multi-target magnetron sputtering system |
仪器型号：Orion8 |
设备分类：薄膜沉积 |
房间：D117 |
负责人：徐 巍/张广学/黄 光… |
生产厂家：
美国AJA International, Inc.
仪器介绍：
Orion 8多靶磁控溅射镀膜系统用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。
主要功能：
薄膜材料制备。
技术指标：
溅射靶位：9个2英寸溅射靶
样品台：可容纳最大4英寸基片、电动旋转
加热温度：850°C
工艺气体：4路（Ar/N2/O2/5%H2等）
极限真空：优于5E-8 Torr
注意事项：
需培训合格后方可独立操作。
设备运行期间如有任何疑问，请及时联系设备管理员。
价格：
校外：1000元/60分钟
校内：700元/60分钟
单位预约时间：60(单位:分钟)
设备大图：
