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中文名：HMDS烘箱 |
英文名：HMDS baking oven |
仪器型号：GHG-HMDS-50 |
设备分类：光刻显影 |
房间：D113 |
负责人：郑盼盼/黄 光/张广学 |
生产厂家：
苏州格瑞达
仪器介绍：
GHG-HMDS-50真空烘箱用于圆片光刻涂胶前增黏剂 HMDS 的涂覆作业。通过多次预抽真空，充氮加热循环，使硅片表面达到干燥、洁净的效果，能有效地防止硅片的氧化和杂质的扩散，并通过加液系统在基片表面形成 HDMS 保护膜，使基片对光刻胶具有良好的粘附性。
主要功能：
用于涂胶前对基片的预处理，具有真空、烘烤、充氮、洁净、HMDS加液等多功能。
技术指标：
型号：GHG-HMDS-50
功率：1.6KW
极限真空度：≤10pa
温度范围：50~250℃
加热方式：四面加热
氮气流量：0-100L/min
控制方式：PLC+触摸屏
注意事项：
1.需经培训方可使用设备，开机前务必确认排风管道抽风正常。
2.设备运行过程中禁止随意打开烘箱舱门。
3.设备运行期间如有任何疑问，请及时联系设备管理员。
价格：
校外：120元/60分钟
校内：80元/60分钟
单位预约时间：60(单位:分钟)
设备大图：
