发布人：许 蔚 发布时间：2025-07-25 点击：
中文名：高精度数控匀胶旋涂仪
英文名：Spin Coater
仪器型号：WS-650-8N/LITE
设备分类：光刻显影
房间：D113
负责人：郑盼盼/黄 光/张广学
生产厂家：
美国Laurell
仪器介绍：
该匀胶机转速稳定，胶厚均匀。适应于半导体工艺中各类基片表面的材料涂覆。
主要功能：
光刻匀胶
技术指标：
转速：0--7000转/分钟，
尺寸：4英寸及以下尺寸。
注意事项：
应根据基片的尺寸选择不同的吸盘。
禁止旋涂光刻工艺之外的材料。
设备运行期间如有任何疑问，请及时联系设备管理员。
价格：
校外：600元/60分钟
校内：400元/60分钟
单位预约时间：30(单位:分钟)
设备大图：
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