2025年新增及调整的仪器设备开放共享服务收费标准申报汇总表 |
部门名称：先进微纳加工中心 |
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填表人：李攀 |
联系电话：15171489702 |
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序号 |
申报年份 |
所属单位 |
资产编号 |
设备名称 |
原值 （万元） |
成套系统名称 |
服务内容 |
收费标准 |
开放共享预约网络平台名称 |
负责人 |
联系电话 |
定价依据/调整原因 |
新增/调整 |
调整前收费标准 |
本单位 |
校内 |
校外（含国际） |
本单位 |
校内 |
校外（含国际） |
1 |
2025 |
先进微纳加工中心 |
02508038 |
晶圆划片道直写填充装备 |
408 |
晶圆划片道直写填充装备 |
先进封装 |
600元/时 |
600元/时 |
800元/时 |
微纳平台预约管理系统 |
夏蒙柔 |
87792410 |
1)定价依据，①折旧费(按10年直线折旧,年使用800小时):折旧费:510元/小时;②维护维修费:237元/小时;③耗材费:20元/小时;④人员费30元/小时;⑤水电费: 3元/小时;⑥总成本:800元/小时。 (2)收费对比，未找到其他同类平台同类设备共享价格。 |
新增 |
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2 |
2025 |
先进微纳加工中心 |
02507442 |
硅酸乙酯低压化学气相沉积系统 |
324 |
硅酸乙酯低压化学气相沉积系统 |
镀膜 |
镀氧化硅：900元/时； 退火：400元/时 |
镀氧化硅：900元/时； 退火：400元/时 |
镀氧化硅：1100元/时； 退火：600元/时 |
微纳平台预约管理系统 |
方程 |
87792410 |
镀氧化硅：(1)定价依据，①折旧费(按10年直线折旧,年使用800小时):折旧费:405元/小时;②维护维修费:447元/小时;③耗材费:215元/小时;④人员费30元/小时;⑤水电费: 3元/小时;⑥总成本:1100元/小时。(2)收费对比，①松山湖实验室为1200元/小时。本设备定价低，因设备原值低，总折旧成本低。②北京大学价格为2500元/h，本设备定价低，因设备原值低，总折旧成本低。③苏州纳米所定价为1200元/时，本设备定价低，因设备原值低，总折旧成本低。 退火：(1)定价依据，①折旧费(按10年直线折旧,年使用800小时):折旧费:405元/小时;②维护维修费:132元/小时;③耗材费:30元/小时;④人员费30元/小时;⑤水电费: 3元/小时;⑥总成本:600元/小时。(2)收费对比，①松山湖实验室为400元/小时。本设备定价高，因设备原值高，总折旧成本高。②苏州纳米所LPCVD定价为500元/时，与本设备一致。③苏州纳米所退火炉1定价为300元/时，因设备原值不同，定价有一点差异。 |
新增 |
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3 |
2025 |
先进微纳加工中心 |
02507443 |
硅通孔（TSV）刻蚀机 |
592 |
硅通孔（TSV）刻蚀机 |
深硅刻蚀 |
768元/时 |
768元/时 |
1097元/时 |
微纳平台预约管理系统 |
杨凡 |
87792410 |
(1)定价依据，①折旧费(按10年直线折旧,年使用800小时):折旧费:739元/小时;②维护维修费:200元/小时;③耗材费:98元/小时;④人员费30元/小时;⑤水电费: 30元/小时;⑥总成本:1097元/小时（2）收费对比，校外：苏州纳米所深硅刻蚀机1200元/小时；先进微纳加工中心NLD刻蚀机1000元/小时；引力中心SPTS深硅刻蚀机3000元/小时。收费不同，主要原因是原值不同。 |
新增 |
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4 |
2025 |
先进微纳加工中心 |
02507444 |
等离子增强原子层沉积 |
396 |
等离子增强原子层沉积 |
原子层沉积 |
700元/时 |
700元/时 |
1000元/时 |
微纳平台预约管理系统 |
徐巍 |
87792410 |
(1)定价依据，①折旧费(按10年直线折旧,年使用800小时):折旧费:495元/小时;②维护维修费:200元/小时;③耗材费:245元/小时;④人员费30元/小时;⑤水电费: 30元/小时;⑥总成本:1000元/小时（2）收费对比，苏州纳米所原子层沉积1000元/小时，收费与本设备一致。 |
新增 |
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5 |
2025 |
先进微纳加工中心 |
02507441 |
高性能原子力显微镜（在线） |
170 |
高性能原子力显微镜（在线） |
表面形貌测试 |
400元/时 |
400元/时 |
500元/时 |
微纳平台预约管理系统 |
许
蔚 |
87792410 |
(1)定价依据，①折旧费(按10年直线折旧,年使用800小时):折旧费:212元/小时;②维护维修费:53元/小时;③耗材费:204元/小时;④人员费30元/小时;⑤水电费: 1元/小时;⑥总成本:500元/小时（2）收费对比，清华大学分析中心 原子力显微镜400元/小时，且探针按型号收费；电子科技大学分析测试中心 常规形貌、粗糙度、高度测试400元/小时，且探针按型号收费，收费与本设备校内收费基本一致。 |
新增 |
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6 |
2025 |
先进微纳加工中心 |
已经完成验收，正在建账 |
化学机械抛光机 |
643 |
化学机械抛光机 |
研磨抛光 |
CMP:800元/时; RCA清洗:255元/时 |
CMP:800元/时; RCA清洗:255元/时 |
CMP:1200元/时; RCA清洗:510元/时 |
微纳平台预约管理系统 |
彭国璐 |
87792410 |
(1)CMP定价依据，①折旧费(按10年直线折旧,年使用800小时):折旧费:546元/小时;②维护维修费:340元/小时;③耗材费:281元/小时;④人员费30元/小时;⑤水电费: 3元/小时;⑥总成本:1200元/小时。（2）CMP收费对比，苏州纳米所价格为1200元/小时，本设备校外收费与其持平. RCA清洗：（1）定价依据，①折旧费(按10年直线折旧,年使用800小时):折旧费:258元/小时;②维护维修费:100元/小时;③耗材费:119元/小时;④人员费30元/小时;⑤水电费: 3元/小时;⑥总成本:510元/小时。（2）RCA收费对比，电子科技大学收费标准为750元/小时（校外），600元/小时（校内），因设备原值不同，收费有所不同。 |
新增 |
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7 |
2025 |
先进微纳加工中心 |
已经完成验收，正在建账 |
双腔超高真空溅射仪 |
576 |
双腔超高真空溅射仪 |
镀膜 |
5万元/(腔室·月)、700元/小时 |
5万元/(腔室·月)、700元/小时 |
1000元/小时 |
微纳平台预约管理系统 |
王路 |
87792410 |
1)定价依据，①折旧费(按10年直线折旧,年使用800小时):折旧费:720元/小时;②维护维修费:240元/小时;③耗材费:27元/小时;④人员费30元/小时;⑤水电费: 3元/小时;⑥总成本:1000元/小时。由于该设备为高性能镀膜设备，为了保证腔体纯度，避免交叉污染，允许校内课题组包月使用，按照每个腔室每月71小时计算(每年800小时，去除寒暑假平台休息时间，平均每月800/11.27=71小时)，每月收费5万元。 (2)收费对比，①苏州纳米所氧化物薄膜系统磁控溅射台1600元/小时，因其原值高于本设备。 |
新增 |
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8 |
2025 |
先进微纳加工中心 |
已经完成验收，正在建账 |
高精密电路打印与芯片贴装一体机 |
219 |
高精密电路打印与芯片贴装一体机 |
先进封装 |
300元/时 |
300元/时 |
500元/时 |
微纳平台预约管理系统 |
夏蒙柔 |
87792410 |
1)定价依据，①折旧费(按10年直线折旧,年使用800小时):折旧费:274元/小时;②维护维修费:173元/小时;③耗材费:20元/小时;④人员费30元/小时;⑤水电费: 3元/小时;⑥总成本:500元/小时。 (2)收费对比，①北京大学多用途亚微米贴片机：300元/小时（校内师生），500元/小时（校外人员），无电路打印功能；收费与本设备一致。 |
新增 |
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9 |
2025 |
先进微纳加工中心 |
已经完成验收，正在建账 |
超薄大芯片高精度堆叠装备 |
368 |
超薄大芯片高精度堆叠装备 |
先进封装 |
600元/时 |
600元/时 |
800元/时 |
微纳平台预约管理系统 |
夏蒙柔 |
87792410 |
1)定价依据，①折旧费(按10年直线折旧,年使用800小时):折旧费:460元/小时;②维护维修费:287元/小时;③耗材费:20元/小时;④人员费30元/小时;⑤水电费: 3元/小时;⑥总成本:800元/小时。 (2)收费对比，①北京大学同功能设备多用途亚微米贴片机：300元/小时（校内师生），500元/小时（校外人员）；浙江大学同功能设备倒扣焊键机：600元/小时（校内师生），800元/小时（校外人员），收费与本设备一致。 |
新增 |
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10 |
2025 |
先进微纳加工中心 |
已经完成验收，正在建账 |
电镀设备（TSV填孔） |
452 |
电镀设备（TSV填孔） |
封装 |
640元/小时，材料费： Au/SnAg/Cu 2inch：240/90/70元/μm 4inch：480/100/80元/μm 6inch：960/110/90元/μm 8inch：1920/120/100元/μm |
640元/小时，材料费： Au/SnAg/Cu 2inch：240/90/70元/μm 4inch：480/100/80元/μm 6inch：960/110/90元/μm 8inch：1920/120/100元/μm |
1040元/小时，材料费： Au/SnAg/Cu 2inch：240/90/70元/μm 4inch：480/100/80元/μm 6inch：960/110/90元/μm 8inch：1920/120/100元/μm |
微纳平台预约管理系统 |
彭国璐 |
87792410 |
(1)定价依据，①折旧费(按10年直线折旧,年使用800小时):折旧费:565元/小时;②维护维修费:142元/小时;③耗材费:300元/小时;④人员费30元/小时;⑤水电费: 3元/小时;⑥总成本:1040元/小时。（2）收费对比，上海交通大学同类型仪器，六英寸片金收费为700元/微米，校外收费为910元/微米,价格基本持平；苏州纳米所同类仪器1000元/小时，材料费：Au/Sn/Cu 2inch：240/90/70元/μm 4inch：480/100/80元/μm 6inch：960/110/90元/μm，价格基本一致。 |
新增 |
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11 |
2025 |
先进微纳加工中心 |
即将验收 |
分子束外延（MBE） |
770 |
分子束外延（MBE） |
薄膜生长 |
1000元/时 |
1000元/时 |
1300元/时 |
微纳平台预约管理系统 |
徐巍 |
87792410 |
(1)定价依据，①折旧费(按10年直线折旧,年使用800小时):折旧费:963元/小时;②维护维修费:240元/小时;③耗材费:50元/小时;④人员费30元/小时;⑤水电费: 17元/小时;⑥总成本:1300元/小时（2）收费对比，中国科学技术大学同类设备1000元/小时，中国科学院物理研究所OCTOPLUS 500 EBV5000元/小时，中国科学院半导体研究所500元/小时，因设备原值不同，收费有所不同。 |
新增 |
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